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温度・圧力・流体の制御技術でお客様のニーズを形にする

温度・圧力・流体の制御をコア技術とし、半導体製造装置の周辺機器の設計・製作を行う。機械、電気、ソフトウェアの設計から、電気配線や機械組み立てまで社内で対応する「ワンストップサービス」を展開。低価格、短納期で装置を提供することができる。主力製品であるスラリー供給装置は約20年で600台を出荷し、業界ではスタンダードになっている。

株式会社テクノメイト(H30/8/17up)

自社製品であるエアー駆動式高圧ポンプの海外展開

これまで顧客の要望に合わせた装置を設計・製作する受注型の仕事が中心だったが、自社製品である高圧ポンプを国内だけでなく、台湾・中国・東南アジアの装置メーカーにも展開する。電気を使わずに空気の供給のみで自動的にポンプが作動するエアー駆動式なので、新興国や紛争地域などの危険性のある場所でも安心して使用できる。

温度・圧力・流体を科学する

―御社の事業内容を教えてください。

 

「温度・圧力・流体を科学する」というテーマのもと、主に半導体製造装置の周辺機器の設計・製作を行っています。現在の主力製品は、半導体製造装置のバックグラインダー装置向けのスラリー供給装置、CMP装置向けのスラリー供給装置や薬液供給装置です。

私は大学卒業後に温度制御メーカーに就職して、そこで14年間ほど様々な機器の設計や温度制御、品質管理などを経験しました。勤務年数を重ねると徐々に直接ものづくりに携わるよりも管理業務が増えていき、ものづくりに携わりたいという想いが強まりました。そこで、メーカー機能を強化したいと考えている半導体商社に転職し、そこで9年間真空装置の圧力制御器やガスの流動制御器などを経験しました。その後、46歳のときに2社での経験を活かして「温度・圧力・流体」をコア技術とする弊社を立ち上げました。

 

―会社名やロゴにもこだわりが見えますね。

 

テクノメイトという会社名の「テクノ」はテクノロジーの略で、「メイト」は仲間という意味と、船で航海するときの羅針盤という意味があります。つまり、私たちが先頭に立って新しいものを切り開いていきたい、という願いを込めた名前なのです。ロゴの「TM」はテクノメイトの略で、Tは配管のイメージ、Mは電気のイメージです。横の星マークは、その分野で輝く企業になりたいという想いを込めました。

 

―御社の手掛ける装置について詳しく教えてください。

 

主力製品は、半導体製造の後工程で使用されるバックグラインダー装置向けのスラリー供給装置です。半導体製造過程では、バックグラインドという工程でICが実装されたウエハの裏面を研磨して厚みを薄くするのですが、この時に使用されるスラリーという研磨液を供給する装置です。20年近く製造・販売し、累計で600台出荷している弊社のベストセラー製品です。スラリーを希釈する技術と温度制御の技術の特許を取得しており、それが現在のベースの技術になっています。ところが近年は、スラリーを使うとランニングコストも高くなりますし、廃液処理の問題もあるため、水だけで研磨できる装置にシフトしつつあります。

スラリー供給装置

 

そこで次に手掛けたのが、より高付加価値である半導体製造の前工程で使用されるCMP装置向けのスラリー供給装置と薬液供給装置です。後工程よりも前工程の方が高いクリーン度を要求されるため、お客様の要求も厳しく、配管、バルブ、ポンプ、タンクなどすべてテフロンを使う高価なものです。薬液供給装置では、薬液の希釈、調合、送液を1つの装置で行います。

薬液供給装置

 

最近では、自社製品として電気を使わずに空気の供給のみで自動的にポンプが作動する「エアー駆動式高圧ポンプ」を販売しています。この製品は新興国や紛争地域などの危険性のある場所でも安心して使用できます。すでに複数の国内装置メーカーには採用していただき好評です。

エアー駆動式高圧ポンプ

 

設計から製作まで一貫して手掛ける高い技術力

―御社の強みを教えていただけますか。

 

私どもが売りにしているのが、設計から製作まで一貫して社内で手掛ける「ワンストップサービス」です。設計に関しては機械、電気、ソフトウェアまで、製造に関しては電気配線から機械組み立てまで、すべて社内で対応可能です。なるべく内製化をすることで、我々のペースで生産計画を組むことができますし、価格を抑えながら短納期でお客様に装置を提供できます。

このように、内製化を進めるには従業員の多能工化が重要です。弊社は従業員17名と少人数ながら、多くの技術者が複数分野を担当する多能工で、社内で設計から製作まで一貫して手掛ける高い技術力を持っていると自負しています。ですから、所属にかかわらずやりたいことにどんどん手を挙げてチャレンジして欲しいし、やる気のある従業員にはチャンスを与えるようにしています。やる気次第でやりたい仕事を任せ、様々な技術の習得をサポートします。社員からも意見があがってくる風通しの良い社風です。

製作において複数分野を手がける

 

温度・圧力・流体技術で新しい販路を開拓

―今後の展望を教えてください。

 

これまで顧客の要望に合わせた装置を設計・製作する受注型の仕事が中心でしたが、半導体業界は設備投資のサイクルが読めなくなってきているので、自社製品を一つずつ増やして新しい販売チャネルを開拓していきたいと考えています。たまたま半導体業界に特化して開発してきましたが、我々の温度・圧力・流体の技術を活かせる分野は、自動車、食品、医療機器、環境など多くあります。様々な分野の自社製品を模索しており、ものづくり補助金を活用して新製品の開発し、製品化を目指しています。

代表取締役社長 芦田 春幸氏

 

まず、1つ目は高圧で圧縮したガスを注入するためのガス用高圧ポンプです。冷媒ガスをラインで注入するのですが、液化ガスなので一定の圧力をかけないと注入できません。そこで、高圧で圧縮したガスを注入するポンプを採用してもらえないか、注入装置を開発しているメーカーに営業をかけています。2つ目は、脳性麻痺などで手が不自由な方のために開発した手のリハビリ器具です。握力のデータを取り込んで、パソコンと連携するものです。3つ目は、液体中のCO2ガスの濃度を測定するCO2溶液濃度計です。ポリウレタンの発泡材の軽量化に活用する計画で、オンラインで濃度を測定できるものです。これらの3つの製品化を推進します。

開発中の手のリハビリ器具

 

また、エアー駆動式高圧ポンプを積極的に海外に展開していきます。つい先日も東京都中小企業振興公社の支援でタイへ市場調査に行き、見込客や代理店の開拓を行ったところです。幣社には、半導体製造装置でUL、CEマーキング、SEMI規格などに準拠した製品を海外に輸出した実績があります。この実績を踏まえて、次は台湾・中国・東南アジアに展開していく予定です。

 

取材:平成30年6月13日

 

企業基本情報

会社名 株式会社テクノメイト(H30/8/17up)
所在地 〒192-0031 東京都八王子市小宮町785-1
設立 平成6年
資本金 1804万円
従業員数 17名
主要取引先 半導体製造装置、自動車、光学機器、LED、電子部品メーカー各社
WEBサイト http://www.technomate.co.jp